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Lucía Mulas, María Luisa ; Prado Millán, Álvaro del ; San Andres Serrano, Enrique ; Feijoo, P.C. ; Toledano-Luque, M. | American Institute of Physics | 2010-04-15Scandium oxide (ScO(x)) thin layers are deposited by high-pressure sputtering (HPS) for physical and electrical characterization. Different substrates are used for comparison of several ScO(x)/Si interfaces. These substrates are chemical silicon[...]
