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Rezgui, B. ; Sibai, A. ; Nychyporuk, T. ; Lemiti, M. ; Bremond, G. ; Maestre Varea, David ; Palais, O. | Amer Inst Physics | 2010-05-03The size of silicon quantum dots (Si QDs) embedded in silicon nitride (SiN(x)) has been controlled by varying the total pressure in the plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) reactor. This is evidenced by transmission electron microsc[...]
