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García Hernansanz, Rodrigo ; García Hemme, Eric ; Montero Álvarez, Daniel ; Olea Ariza, Javier ; San Andres Serrano, Enrique ; Prado Millán, Álvaro del ; Ferrer, F. J. ; Mártil de la Plaza, Ignacio ; González Díaz, Germán | IOP Publishing | 2016-03Amorphous silicon thin films were deposited using the high pressure sputtering (HPS) technique to study the influence of deposition parameters on film composition, presence of impurities, atomic bonding characteristics and optical properties. An[...]
