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Feijoo, P.C. ; Pampillón Arce, María Ángela ; San Andres Serrano, Enrique ; Fierro, J.L.G. | Elsevier Science SA | 2015-10-30In this work we use the high pressure sputtering technique to deposit the high permittivity dielectric gadolinium scandate on silicon substrates. This nonconventional deposition technique prevents substrate damage and allows for growth of ternar[...]
